模块化洁净室(无尘室)在建成后,要进行洁净度、风速、噪音等方面的检测,达到合格标准后,才能进行交付使用。关键的一点,是要进行洁净度的检测。
1-10万级的模块化洁净室(无尘室),按照美国联邦209E标准,检测的容积单位均为立方英尺(ft³)。测试环境要求首 次洁净通风24小时以上,静态循环送风2小时以上,在静态环境下进行测试。
检测点均为风机滤网机组FFU的高 效过滤器正下方、距离地面800-1200mm,距离侧壁500mm以上。例如洁净等级为万级的模块化洁净室(无尘室),1立方英尺(ft³)内0.5μm的尘埃粒子数为1万个,其他规格的尘埃粒子数量,不同的洁净室也有不同的规定,测试结果均需要在规定范围之内。
模块化洁净室(无尘室)洁净度的检测也可以通过有规律扫描检测的方式来获取数据,如遇到数据波动异常的点,再通过定点详细检测的方式来获取数据。
为确保模块化洁净室(无尘室)里检测数据的客观及真实性,测试环境内的人员数量为1-2人,尘埃粒子计数器在每个点位需要静置5分钟后,再开始才采样。
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