在模块化洁净室(净化车间)中,百级是洁净等级比较高的一个级别。随着生产工艺对清洁度的要求越来越高,百级洁净室(净化车间)也成为一个应用比较多的洁净等级。那么,百级洁净室(净化车间)是什么样的?
首先,百级洁净室(净化车间)的定义。百级洁净室(净化车间)的说法是按照美国联邦209E标准来的,对应国际标准ISO14644的5级,指的是1立方英尺(ft³)内0.5微米(μm)尘埃粒子有100个,或者1立方米(m³)内0.5微米的尘埃粒子有3520个。两者表述所用的单位不同,但等级相同。除了0.5μm的尘埃粒子,其他如0.2μm、0.3μm、1.0μm等尺寸的尘埃颗粒同样也有规定。
其次,百级洁净室(净化车间)采用单向流(层流)的送风模式,因此需要风机滤网机组FFU满布室内顶部,地面要采用高架地板回风。这样气流从顶部送出,同朝着底部一个方向, 以稳定均匀的方式和速度流动,像活塞一样,快速持续的清 除洁净室内的灰尘颗粒。从出风口到回风口,气流流经途中的截面基本上没有变化,因此也被称为“活塞流”,“平推流”等。
第三,百级洁净室(净化车间)为了保持脏空气不会回流污染,室内会保持一定的微正压,通常为5-15Pa。如果有相邻的洁净室,还要与相邻洁净室保持一定的差压,一般洁净等级高的房间压差要大于洁净等级低的房间,两个相邻房间的静压差一般大于5Pa。门的开口要朝着洁净度等级高的房间。
第四,百级洁净室(净化车间)内配合洁净等级,还需要风淋室、货淋室、传递窗等,因为洁净室内不产尘,但人员、货物的进出会带来灰尘,人员、货物要进入洁净室,需要在风淋室、货淋室吹淋。小件物品进入洁净室,也可根据需要选择不同的传递窗。
有统计称,洁净室(净化车间)在提升产品的质量方面,具有很大作用,没有洁净室,产品的良品率会大大降低。目前百级洁净室(净化车间)在半导体制造、集成电路制造、人造卫星、精 密机械、航 空仪表、轴承、宇宙飞船液压系统、专用手 术室、特殊病房等行业有广泛的应用。
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