一、模块化洁净室定义
模块化洁净室是指将相应环境空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。
模块化洁净室最主要的作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为模块化洁净室。而没有模块化洁净室,污染敏感零件不可能批量生产;应用于微电子、光电子、电子材料、仪器仪表、精密机械、制药及生物工程、饮料、食品、化妆品、医疗卫生(洁净手术室及实验室),航空、印刷包装、航天及军事科学等行业。
二、模块化洁净室等级分类与标准
模块化洁净室可分为以下几个级别:一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级。
百级模块化洁净室每立方米将小于0.5微米粒径的微尘 数量控制在3520个以下。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于百级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
三、模块化洁净室的设计装修要点
1)面积适应生产流程,布局合理,排水畅通。
2)车间地面用防滑、坚固、不透水、耐腐蚀的材料修建,且平坦、无积水、并保持清洁。
3)车间出口及与外界相连的排水、通风处装有防鼠、防蝇、防虫设施。
4)车间内墙壁、天花板和门窗使用无毒、浅色、防水、防霉、不脱落、易于清洗的材料修建。
5)模块化洁净室利用空调技术、物理过滤、气流组织、压差控制等诸多技术手段,控制污染颗粒来控制微生物污染,从而对控制的环境对象建立一个完善的保障体系。