静电问题是模块化洁净室（无尘室）设计施工的时候通常需要考虑的问题。
静电其实无处不在，空气的流动、人体与衣服的摩擦、工艺上的各种操作等，都会产生静电。而且洁净室（无尘室）的许多材料如地板、墙面、工作服等都有很高的电阻率，所以非常容易产生和聚 集静电。
静电的危害无处不在。静电引起的电击，可能造成安 全事故；静电的放电电流、电磁波、发光等会造成电子行业元器件的损毁老化、照相胶片等感光破损、印刷品质量下降等。因此模块化洁净室（无尘室）在搭建时，会考虑各个环节的防静电措施。
首先，调节模块化洁净室（无尘室）的温湿度防静电。在北方或者干燥的冬季，静电故障的发生率远大于东部沿海地区或其他季节。据研究，空气的温度在23℃、湿度在50%左右的条件下，空气中的静电问题就会大大降低。
其次，模块化洁净室（无尘室）采用防静电材料和设备。如地板不仅要关注不产尘问题，还要铺设防静电地板或地毯。使用离子风枪 手持静电消 除器，吹出大量电离的正负离子，与空气中的静电离子中和，从而消 除静电。离子棒由金属棒和电源组成，靠近物体，就会自动将离子释放到空气中，即可消 除静电。此外受静电影响较大的半导体器件等应该盛放在防静电容器中，可有 效防止静电。
第三，消 除模块化洁净室（无尘室）内作业人员的人体带电。如在人员进出口设置ESD静电闸机，并搭配静电释放球。洁净室耗材上，选择防静电洁净服装、鞋、帽、手套，防静电手带等。
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