过滤器对于无尘室来说，可以说是至关重要的。一个好的过滤器，首先能过滤不同规格的灰尘颗粒，其次能允许气流顺利通过，不会过于影响风速。常用的滤料有无纺布滤料、玻璃纤维滤纸等，前一种多用于初效过滤率，后一种用于高 效过滤器。那么影响无尘室内过滤器的因素都有哪些呢？
首先，是过滤器的过滤效率。在无尘室内，不同规格的灰尘颗粒过滤效果是不同的，大于0.5微米以及小于0.1微米的灰尘颗粒是比较好过滤的，而0.1-0.5微米之间的灰尘颗粒非常难过滤，因此根据过滤不同规格灰尘的能力，将过滤器划分为初效、中效、亚高 效、以及高 效过滤器。
其次，无尘室内过滤器面积越大，容尘量越大，寿命越长。所以可以看到初效、中效过滤器会有很多褶皱，在同样的空间内做到面积更大化。
再次，无尘室内的过滤器还是会有寿命的。灰尘堆积在上面，会在迎风面堵住通道，风吹不出，捕捉灰尘的效率也降低，当达到一定程度的时候，比如灰尘都已经四散飞扬，这时候就该报废了。
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