模块化洁净室为了保持一定的洁净等级，需要对污染源进行净化，净化的方法有以下几种。
一、针对模块化洁净室外污染源的净化。这个需要风机抽取室外空气，然后用初效、高 效过滤器对空气进行净化，之后向室内吹入洁净的气流。针对室外人员和货物的污染，可以用风淋室、货淋室、传递窗来进行净化。
二、针对模块化洁净室内污染源的净化，包括人员运动、生产设备等的产尘。这个需要室内形成单向流或非单向流来进行净化。
如百级以上的洁净度要求，需要在模块化洁净室内形成单向流（层流），也就是活塞式送风模式，顶部FFU要满布，底部用高架地板回风。
如果是千级以下，模块化洁净室内形成非单向流就可以了，侧面回风面板或者回风柱就可以。但是非单向流的洁净室需要达到一定的换气次数。如千级要90-120次/小时，万级要60-80次/小时。
三、如果是在模块化洁净室内，某些工艺需要达到更高的洁净等级，则需要结合超净工作台、洁净棚、层流罩、称量台等来使用，这些小型设备可以单独使用，还可以组合成流水线使用。
小型洁净设备的工作原理和洁净室差不多，一个是使用初效、高 效过滤器，二是形成一定的送风模式。
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