无尘室（洁净室）控制温度和湿度有两方面的原因，其一是生产工艺没有需求，但是要满足室内操作人员的舒适度，温湿度过高，或者越低，都会让人产生不适。其二，在电子、医药等行业，尤其是高精度的核心无尘室内，需要恒定的温湿度。但是室内的人员工作、照明、室内设备的生产等，都会产生一定的热、湿负荷，且不同洁净室的产热量和产湿量不同，而生产工艺需要的温湿度是恒定的，这时就需要无尘室来控制温湿度。
在电子工业无尘室， 按照规定，生产工艺有温度、湿度要求的无尘室，按照生产工艺要求确定。没有生产工艺要求的，冬季温度控制在22℃及以下，相对湿度控制在30-50%；夏季温度约24℃，相对湿度50-70%。人员净化及生活辅助用室冬季温度约18℃，夏季温度约28℃，湿度无要求。
在医药工业无尘室，按照规定，生产工艺有温度、湿度特殊要求的无尘室，按照生产工艺要求确定。没有生产工艺要求的，空气洁净度相当于百级、万级的无尘室温度应为20-24℃，相对湿度为45-60%；空气洁净度相当于十万级、三十万级的医药无尘室，温度应为18-26℃，相对湿度为45-60%。人员净化及生活辅助用室的温度，冬季应该设置为16-20℃，夏季应该设置为26-30℃。
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