百级无尘室（洁净室）是各行业应用的比较高的一个等级，它的含义是在一立方英尺（ft³）范围内，大于等于0.5μm的灰尘不得超过100个。要达到这个等级，一般需要形成单向流的气流流型。所谓的单向流，就是在气流的任意截面上，风速都是相同的，这样洁净空气就像活塞一样，将脏空气给挤压出去。要达到这个等级，顶部的FFU一般需要满布，而洁净室的顶部除了FFU，还需要安装灯具、空调等，这种情况下，该如何布置呢？
首先，百级无尘室顶棚密布了FFU后，灯具的安装几乎没有空间位置，因此不适合安装普通的吸顶式平板灯，而是选用泪珠式荧光灯（泪滴灯），在高 效过滤器专用铝型材框架的下侧安装，这种灯具对气流影响较小。根据顶棚的情况，可以选择不同长度的灯具。
其次，百级无尘室还需要对温度进行控制。有的百级无尘室所在的大的车间是有大型的空调机组的，因而可以为无尘室提供较适宜的温度。如果无尘室所在环境无空调，或者与无尘室所需的温度不同，这时可以在百级无尘室做成双层顶棚，上面安装吸顶式空调，调节温度，下面是FFU，对空气进行过滤。
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