目前中国通行的无尘室（洁净室）洁净度标准有美国209E和国标ISO14644。209E的标准常用的洁净等级有1级、10级（十级）、100级（百级）、1000级（千级）、10000级（万级）、100000级（十万级），国标ISO14644则是有1-9级，因此在提到十级无尘室（或者是10级无尘室）时，指的就是美国209E标准里的十级。这个级别对应的是国标ISO14644的4级，那么这个洁净等级标准是什么样的？
十级无尘室是洁净度很高的一个等级，在美国209E标准里，1立方英尺（ft³）范围内，0.5μm的悬浮粒子不大于10个。此外，同样单位体积内，0.1μm的悬浮粒子不大于350个，0.2μm的悬浮粒子不大于75个，0.3μm的悬浮粒子不大于30个。而对应的国标ISO14644标准里，单位体积为1立方米（m³）。国标4级无尘室里，1立方米（m³）范围内，其中0.5μm的悬浮粒子不大于352个，0.1μm的悬浮粒子不大于10000个，0.2μm的悬浮粒子不大于2370个，0.3μm的悬浮粒子不大于1020个。此外，国标ISO14644的4级还要比209E的十级多控制一个1.0μm的规格，要控制在83个以内。因此在同样等级下，国际标准ISO14644更严格一点。
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