FFU、高效过滤器是模块化洁净室内的重要净化设施，为了确保安装质量，在安装前，要求模块化洁净室已经进行全面清洁、擦净。FFU、高效过滤器应该在清洁的环境下进行整体外观检查，FFU不得出现变形、锈蚀、或者漆膜脱落、拼接板破损等现象，高效过滤器的框架、滤纸、密封胶等应无变形、断裂、破损、脱落等损坏现象。经检查合格后，应该立即进行安装。
高效过滤器的框架应该保持平整、清洁，且安装的方向要正确，安装后四周和接口应严密不漏。如果端面的平整度超过了允许的偏差值，这时只允许修改或者调整过滤器安装的框架端面，而不允许修改高效过滤器本身的外框，否则将会损坏过滤器中的滤料或密封，降低过滤效果。另外，安装高效过滤器的时候，应该保证气流的方向与外框上的箭头标志的方向一致。如果是使用液槽密封的高效过滤器，槽架应该保持水平，且没有渗漏的现象，槽内没有污染物和水分。
FFU的安装与高效过滤器基本类似，在外观的检查合格后，应该立即进行安装，避免遭受污染。安装的框架应该平整、光滑，且安装方向正确。安装后的FFU还应该满足方便维修的需求。此外，FFU与框架之间的连接处应采取密封措施。
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