半导体洁净室属于电子工业类洁净室（洁净厂房、无尘车间），根据《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008，其空气洁净度等级采用国际标准ISO14644-1，分为9个等级，其中常用的有5-8级，对应的分别是美国联邦209E标准的百级、千级、万级、十万级，也就是常说的洁净室的洁净度四个等级。在进行洁净室设计时，洁净等级所处的状态，如空态、静态还是动态，应该如业主协商确定。
半导体洁净室（洁净厂房、无尘车间）为了满足空气洁净度等级，要达到一定的送风量和气流流型。一般1-5级（百级以上）为单向流或混合流，6级以下（千级及以下）为非单向流，需要达到一定的换气次数。
电子产品生产的种类的不同，工序不同，对空气洁净度等级的要求也不同，ISO 5-8级（209E百级、千级、万级、十万级）是常用的等级，但是也并不局限于这些等级，如芯片制造的光刻等工序，需要更高的洁净等级，具体可看下表。
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