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桂林模块化洁净室的风速、风量测试方法有哪些?

作者:时间:2024-01-12 09:12:2622183 次浏览

信息摘要:

随着科学技术、社会经济的发展,洁净技术的应用日益广泛和严格,特别是以微电子、生物医药为代表的高科技洁净室建设规模、技术要求迅速发展,同时洁净室检测技术、装备和相适应的标准也在不断的修订,用来确保洁净室的建造质量和正常、稳定运行。模块化洁净室的性能测试其中重要的一项是风速和风量的测试,方法主要有以下几种。

随着科学技术、社会经济的发展,洁净技术的应用日益广泛和严格,特别是以微电子、生物医药为代表的高科技洁净室建设规模、技术要求迅速发展,同时洁净室检测技术、装备和相适应的标准也在不断的修订,用来确保洁净室的建造质量和正常、稳定运行。模块化洁净室的性能测试其中重要的一项是风速和风量的测试,方法主要有以下几种。


风速和风量的测试,包括单向流和非单向流两种情况的测试。


模块化洁净室


其中单向流一般检测截面风速、面风速和风量测试。风速测试应将测试平面垂直于送风气流;该测试平面距离高效过滤器的出风面150-300mm,并将测试平面粉尘若干面积相等的栅格。测点在栅格的中心。测量过滤器的面风速时,测点距离过滤器的出风面为150mm。而风速测试,一般选取工作面高度为测试平面。风速分布测试适宜在“空态”状况下进行。当安装好工艺设备和工作台时,在其附近册得的数据可能不能反映洁净室本身的特点,若需要测试时,风速分布测试的要求应由建设方、测试方协商确定。


而非单向流的风速、风量测试,可以采用风口法、风管法、风罩法进行检测。风口法测试时,每个测点的持续测试时间至少为10是s,才可以得到有代表性的平均值。对于高效空气过滤器风口上风侧有较长的支风管段,且已有预留孔时,可以采用风管法测试风量。而使用带有流量计的风罩法测试风量时,风罩的开口应该全部罩住空气过滤器,风罩面应该固定在平整的平面上,避免空气泄漏造成读数不准确。


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