静电的产生或起电方式主要有接触摩擦分离起电，在各行各业的作业、日常生活中，到处存在着两种不同的物体相互接触摩擦分离，均可能产生数量相同、性能相反的电荷。这些电荷可以吸附灰尘、产生放电、引起火灾爆炸、以及形成人体电击。在模块化洁净室中，除了要控制尘粒、细菌等，静电的危害也不可忽视，尤其是电子行业，静电控制是非常重要的一项措施。那么，模块化洁净室中静电的来源有哪些呢？
首先，固体物质起电。有导体接触起电，如机电设备运转的主轴和套轴间摩擦；有绝缘体与导体接触起电，如装配线上导板与滚轮、传送带上皮带与滚轮间的摩擦；有绝缘体与绝缘体接触起电，如人员走动时，鞋与地面的摩擦。
其次，液体流动起电。如管道接地，则接地途径上就有相应的电流流过；如管道由绝缘材料制成，或者对地绝缘，则管道上会聚集静电。
第三，气体带电。在模块化洁净室中，空气中的尘粒会在一定温湿度下因静电力沉积在物体表面。
第四，人体带电。人是一种特殊的导体，在模块化洁净室中，各类人员和各种物体之间的活动，均会导致静电的产生，并因接触面积、表面状况、着装情况和行为动作等而有所不同。
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