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三山如何理解模块化洁净室与洁净等级?

作者:时间:2022-12-14 11:28:2531319 次浏览

信息摘要:

在倡导既要金山银山、也要绿水青山的当下,可以看到,为保证环境污染小,越来越多的工厂从市内搬迁至室外,但也仍有少部分工厂在室内站稳脚跟,究其原因,是因为这些工厂采用了无尘模块化洁净室,以高洁净度的室内环境来维持生产研发。那么,什么是模块化洁净室呢?

在倡导既要金山银山、也要绿水青山的当下,可以看到,为保证环境污染小,越来越多的工厂从市内搬迁至室外,但也仍有少部分工厂在室内站稳脚跟,究其原因,是因为这些工厂采用了无尘模块化洁净室,以高洁净度的室内环境来维持生产研发。那么,什么是模块化洁净室呢?

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  首先我们要了解一下,无尘模块化洁净室是指将一定空间范围内的空气中微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。


  无尘模块化洁净室是不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性。无尘模块化洁净室的级别包括一级无尘模块化洁净室、十级无尘模块化洁净室、百级无尘模块化洁净室、千级无尘模块化洁净室以及十万级无尘模块化洁净室等。


  而如何理解千级百级呢?每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3520个以下,就达到了国际无尘标准的千级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求较高,这样的高标准主要被应用在一些等级较高芯片生产上。


  模块化洁净室等级标准划分,一般可以洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


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