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三山模块化洁净室的环境品质要求有哪些?

作者:时间:2023-01-09 11:11:2734134 次浏览

信息摘要:

模块化洁净室的环境主要品质是空气洁净度,即对空气的微粒浓度的要求,但是由于在洁净环境中所进行的工作往往具有特殊性,所以对洁净环境的品质也往往还有其它的要求。

 


模块化洁净室的环境主要品质是空气洁净度,即对空气的微粒浓度的要求,但是由于在洁净环境中所进行的工作往往具有特殊性,所以对洁净环境的品质也往往还有其它的要求。

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一、空气洁净度与洁净标准

 

空气洁净度的高低用空气洁净度级别来区分。而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示的。也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止,这一个含尘浓度范围定为某一个空气洁净度级别。

 

二、气流速度

 

模块化洁净室内,一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释,另一方面是加速排出室内浓度高的污染空气,所以模块化洁净室内空气的流速既要有一定的速度,才能防止其他因素的扰乱,但又不能太大,流速太大将使室内积尘飞扬,造成新的污染。

 

三、压力

 

洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通模块化洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

 

四、温、湿度

 

温度对生产工艺的影响,主要是从产品精度和合格率来考虑的。另一方面也从污染角度考虑。湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除。但是相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,在半导体生产车间,静电会使半导体器件发生击穿。

 

五、空气新鲜度

 

空气洁净度是指空气含有的灰尘微粒浓度的高低而言。并且和具体的级别相联系。实际上这样的洁净只是物理学上的意义,是广义上的洁净度。而从化学和生理学角度看,应用保证洁净空间内氧气的数量和质量以及负氧离子量。

 

六、噪声

 

噪声使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹、比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼。对工作效率的影响与对综合通讯的干扰。

 

七、照度和眩光

 

照度由于洁净室内的工作内容大多有精细的要求,而且又都是密闭性房屋。所以对照明有很高的要求。照度是关于照明量的指标,而照明质量的指标则采用眩光这一概念。如果照明的明亮度得到满足,但若由于眩目而无法工作,则这种照明效果是不好的。

 

八、静电

 

模块化洁净室中由于静电引起的事故屡有发生,因此模块化洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。


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